BUSINESS

事业领域

Pride in Melcon
敢于和国内外企业正面竞争。全球性企业，MELCON！
半导体制造设备
为全世界最好的Memory、Foundry半导体厂商供应高性能产品，通过提供高端技术和优质服务来为客户带去满意和感动。作为拥有自主技术的设备企业，不断满足着半导体市场的需求。
THC 除湿器 CHR
未来产业
MELCON股份有限公司的新事业部依靠半导体产品的开发、生产、维护所需的各种系统的供应经验来确保领先的技术，为了依靠基于AI（人工智能）的Self-Diagnosis技术和半导体装置技术来提供适合未来尖端产业的设备软件和服务而加快研发的步伐。
未来创造技术产业 专业的软件方案

THC (Temperature & Humidity Controller)

按照用户的使用目的调节空气的温度、湿度、气流的系统

THC使用用途

半导体制造工艺中光刻用涂布显影设备及PR温湿度环境控制

300mm 对应用 THC

M6Z
R5Z
M3Z
R5V/I
Control Spec. Temp. THC S.V ± 0.1℃
Humid. S.V ± 0.5%
Temp. CHR S.V ± 0.1℃

200mm 对应用 THC

R10FC
V4+
Control Spec. Temp. THC S.V ± 0.1℃
Humid. S.V ± 0.5%

除湿器 (Dehumidifier)

通过冷却室内空气来控制箱内湿度的装置

除湿器使用用途

半导体制造工艺中Etch & Wet设备的湿度管理

除湿器

产品详情

温湿度控制性能
  • 温度 : 23 ℃ ± 1 ℃, 湿度 :10% ↓ 具体流程 3% ↓)
  • 风速 : 0.2 ~ 0.5 m/sec)

CHR (Chiller)

根据用户的目的调整液体（恒温水）温度的系统

CHR使用用途

半导体制造工艺中光刻用涂布显影设备的电机、油量、晶圆温度的调节管理

300mm 对应用

18XT+
  • 控制温度范围 : +20.0℃ ~27.0℃
  • 温控精度 : S/V ± 0.05 ℃
  • Option : Absorbing vibration of coolant flow

未来创造技术产业

MELCON股份有限公司将依靠丰富的半导体产品经验，通过自主开发产品生产电算化经验相关的MES、QMS、WMS来为开发出有效管理产品的查询及分析的TMS服务而竭尽全力。
  • 利用了"Humidity controlled Clean Air supply system"的特殊工艺中的H2O的缺陷控制功能
  • 提供收据收集到大数据的软件方案
  • 依靠丰富的经验和数据支持基于AI（人工智能）的Self-Diagnosis技术开发

专业的软件方案

MELCON股份有限公司的子公司솔루잇与MELCON半导体产品开发部门合作来加速推进产品所需的软件方案的开发，进而提供适合产品的设备软件。我们将依靠程序员的能力和热情、MELCON丰富的经验和大数据来满足客户的需求。
  • 尖端软件方案的开发及供应
  • 机械自动控制装置的开发及软件服务、咨询等